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ZHDF独立支撑气浮光学平台

详细信息

ZHDF独立支撑气浮隔振光学平台

应用领域:

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点:

■中弘精密依托于光电子产业科研工作人员,研发制造的一款通用性隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。

■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准,标配优质超静音压缩机。

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。

■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。

技术指标:

■平面度:< 0.05mm/m2

■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有频率;x方向:1.2Hz~2.0Hz  y方向:1.2Hz~2.0Hz

■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94%    y方向<5Hz时:86%~92%

                 x方向<10Hz时:92%~98%  y方向<10Hz时:90%~95%

■振幅:< 1μm

■荷载能力:500kg/m2

■重复定位精度:±0.05mm

产品选型表:

规格型号

长-宽-高

备  注

ZHDF- 600x600x80

600-600-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 750x750x80

750-750-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 900x600x80

900-600-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 1200x800x100

1200-800-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 1500x1000x100

1500-1000-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 1800x1200x150

1800-1200-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 2000x1000x150

2000-1000-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 2000x1200x150

2000-1200-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 2000x1500x150

2000-1500-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 2400x1200x200

2400-1200-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 2400x1500x200

2400-1500-800

4支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 3000x1000x250

3000-1000-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 3000x1200x250

3000-1200-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 3000x1500x250

3000-1500-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 3500x1200x250

3500-1200-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 3500x1500x250

3500-1500-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 4000x1500x250

4000-1500-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 4500x1500x300

4500-1500-800

6支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 5000x1500x300

5000-1500-800

8支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 6000x1500x300

6000-1500-800

8支撑  M6螺孔孔距25mm

ZHDF- 8000x1500x300

8000-1500-800

8支撑  M6螺孔孔距25mm



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