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ZHQF-K科研级气浮隔振光学平台

详细信息

ZHQF-K科研气浮隔振光学平台

应用领域:

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点:

■中弘精密依托于光电子产业科研工作人员,研发制造的一款通用性隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的最佳效能。

■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准,标配优质超静音压缩机。

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。

■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。

技术指标:

■平面度:< 0.05mm/m2

■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz  y方向:1.0Hz~1.5Hz

■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94%    y方向<5Hz时:86%~92%

                 x方向<10Hz时:92%~98%  y方向<10Hz时:90%~95%

台面内部支撑:纯蜂窝杯内芯支撑结构,粘接工艺,无焊接应力; 

蜂窝杯状芯板:内部蜂窝状芯板采用的是不锈钢 、铝板,镀锌板等防 腐材料,内芯密度≥250kg/m³; 

■振幅:< 1μm

■荷载能力:500kg/m2

■重复定位精度:±0.05mm

产品型号:(接受客户任意规格定制生产) 

产品型号

规格(mm)

支撑

平板厚度

台面厚度

螺孔/间距

ZHQF-K-60-60

600*600*800

4

6

50

M6/25*25

ZHQF-K-75-75

750*750*800

4

6

50

M6/25*25

ZHQF-K-90-60

900*600*800

4

6

80

M6/25*25

ZHQF-K-100-80

1000*800*800

4

6

100

M6/25*25

ZHQF-K-120-800

1200*800*800

4

6

100

M6/25*25

ZHQF-K-150-100

1500*1000*800

4

8

150

M6/25*25

ZHQF-K-160-100

1600*1000*800

4

8

150

M6/25*25

ZHQF-K-180-120

1800*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-200-100

2000*1000*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-200-120

2000*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-200-150

2000*1500*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-240-120

2400*1200*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-240-150

2400*1500*800

4

8

200

M6/25*25

ZHQF-K-300-100

3000*1000*800

6

10

200

M6/25*25

ZHQF-K-300-120

3000*1200*800

6

10

200

M6/25*25

ZHQF-K-300-150

3000*1500*800

6

10

250

M6/25*25

ZHQF-K-350-120

3500*1200*800

6

10

250

M6/50*50

ZHQF-K-400-150

4000*1500*800

6

10

300

M6/50*50

ZHQF-K-450-150

4500*1500*800

6

12

300

M6/50*50

ZHQF-K-500-150

5000*1500*800

6

12

300

M6/100*100

 

台面细节图

精密研磨处理

ZHQF-K科研级气浮隔振光学平台(图1) 

表面平整精度

ZHQF-K科研级气浮隔振光学平台(图2) 

内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构(用户可选)

ZHQF-K科研级气浮隔振光学平台(图3) 

 



精细化打造最系统、最完善的隔振解决方案

隔振平台、光学平台、蜂窝隔振光学平台、气浮隔振光学平台、科研级隔振平台首选武汉中弘精密机械有限公司

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